電子行業(yè)生產(chǎn)過程中大量使用的化學(xué)品與特殊氣體，持續(xù)產(chǎn)生成分復(fù)雜的工藝廢氣。

光電顯示器件

光電顯示器件是指依靠矩陣點(diǎn)或線段的電子元件控制并激勵(lì)屏幕發(fā)光，呈現(xiàn) 信息供視覺感受的器件，主要包含 LCD、OLED 等。

完整的TFT-LCD生產(chǎn)工藝流程主要包括陣列工程、彩膜工程、成盒工程三大部分，產(chǎn)生大量有害廢氣，包括酸性、堿性、有機(jī)廢氣及含氟廢氣等。

AMOLED生產(chǎn)工藝包括四個(gè)組成部分：陣列工藝、蒸鍍工藝、切割工序、模組工序，陣列、模組工序產(chǎn)生酸性、堿性、有機(jī)廢氣等廢氣。

集成電路

集成電路制造的核心工藝流程主要包括摻雜、光刻、刻蝕和薄膜工藝。

在硅片清洗、氧化、濕法腐蝕、干法腐蝕、離子注入、擴(kuò)散、化學(xué)氣相沉積等環(huán)節(jié)產(chǎn)生大量酸堿、砷烷、磷烷、有機(jī)等工藝廢氣。

一、 酸堿廢氣處理系統(tǒng)

處理IC硅片清洗，以及TFT-LCD陣列、彩膜，AMOLED陣列等生產(chǎn)工藝中產(chǎn)生的酸性、堿性污染物氣體，實(shí)現(xiàn)達(dá)標(biāo)排放。

適用廢氣

酸性氣體有磷酸、乙酸、硝酸、鹽酸、氮氧化物、氟化物、硫酸、氯氣等。堿性氣體有氫氧化鉀、氨等。

1.1原理

采用“洗滌法”處理，廢氣通過洗滌塔,與其中的洗滌夜發(fā)生中和反應(yīng)得到凈化；其中酸性氣體通過堿性洗滌液，堿性氣體通過酸性洗滌液。

具體流程：

廢氣由進(jìn)風(fēng)口流入，從下至上流過填料床，洗滌液從上至下流過填料床。這種氣液逆流方式使廢氣與洗滌液充分作用，有效清除廢氣中的雜質(zhì)。

 洗滌液流入洗滌塔底部的污水槽，循環(huán)泵循環(huán)洗滌液，為了達(dá)到最大的去除效率，在洗滌塔頂部的非固定式螺旋噴嘴為填料床提供均勻而連續(xù)的洗滌液。

在洗滌塔的出口處，凈化過的氣體流過除霧層，清除99% 的10微米的水霧。n 洗滌塔使氣體從氣態(tài)轉(zhuǎn)化為液態(tài)的過程稱為化學(xué)吸附。通過洗滌塔內(nèi)部放置的填料，使這一轉(zhuǎn)化的效率大大的提高；填料不但增大了氣液混合物的接觸面積，同時(shí)不斷破壞水滴，使新形成的水滴表面總是暴露于空氣中，極大的提高了吸附效率。

洗滌液的酸堿度通過加藥設(shè)施精確控制，使得廢氣中可溶性部分被洗滌液吸附，轉(zhuǎn)化成中性的液體最終排放出洗滌塔。

1.2主要設(shè)備

包含風(fēng)機(jī)、塔體、水泵、螺旋噴頭、除霧器填料等。

1.3處理效果

采用這種處理方案可以極好的除去酸堿廢氣，最終達(dá)標(biāo)排放；并且還有低壓力損失（節(jié)省電力），不易堵塞，維修簡便等優(yōu)點(diǎn)。是目前光伏產(chǎn)業(yè)中最常用的處理方案。

二、 揮發(fā)性有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)

有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)吸附濃縮IC、光電產(chǎn)業(yè)生產(chǎn)過程中，黃光區(qū)內(nèi)光阻涂布等制程工藝揮發(fā)的有機(jī)物，并輸送至后序中央有機(jī)排氣系統(tǒng)集中處理。適用于含PGMEA、PGME、IPA、環(huán)己酮等為主的有機(jī)揮發(fā)性氣體。

有機(jī)廢氣的處理一般采用“吸附法”、“燃燒法”或者“吸附+燃燒法”。

“吸附法”是利用活性炭等吸附劑的吸附能力，將有機(jī)廢氣吸附于設(shè)備內(nèi)，定期更換吸附劑，達(dá)到處理效果。

“燃燒法”是將有機(jī)廢氣通過RTO(蓄熱式氧化器)、RCO（蓄熱式催化氧化器），高溫分解為水和二氧化碳。

“吸附+燃燒法”分為“活性炭吸附+濃縮燃燒”和“濃縮轉(zhuǎn)輪+燃燒”兩種工藝。

（1）“活性炭吸附+濃縮燃燒”工藝。

吸附濃縮-催化燃燒有機(jī)廢氣處理工藝，采用阻力小的活性炭為VOCs吸附材料，將廢氣中的VOCs吸附達(dá)標(biāo)排放。脫附濃縮的VOCs經(jīng)催化低溫燃燒，轉(zhuǎn)化為潔凈的CO2和H2O ，達(dá)標(biāo)排放。吸附床一般配置兩臺(tái)以上，交替吸脫附，當(dāng)一臺(tái)吸附床吸附的VOCs達(dá)到飽和吸附量時(shí)，轉(zhuǎn)入脫附再生工序；同時(shí)，另一臺(tái)吸附床轉(zhuǎn)入吸附凈化工序。脫附是通過將小風(fēng)量催化燃燒放熱后的煙氣(約吸附風(fēng)量的1/10)引入待脫附的吸附床，使吸附的VOCs以高濃度脫附下來，隨后進(jìn)入催化燃燒室進(jìn)行低溫?zé)o焰式催化燃燒，燃燒產(chǎn)物為CO2和H2O。濃縮后的VOCs催化燃燒放熱足以維持自身催化反應(yīng)，運(yùn)行以后不需額外提供能量，節(jié)能顯著。蜂窩活性炭顯著特點(diǎn)是阻力低,因此非常適合于大風(fēng)量、低濃度有機(jī)廢氣的處理。

（2）“濃縮轉(zhuǎn)輪+燃燒”工藝

技術(shù)原理沸石轉(zhuǎn)輪濃縮吸附裝置是用吸附－脫附－濃縮三項(xiàng)連續(xù)變溫的吸、脫附程序，使低濃度、大風(fēng)量有機(jī)廢氣濃縮為高濃濃縮氣體。其裝置特性適合處理大流量、低濃度、含多種有機(jī)成分的廢氣。通過轉(zhuǎn)輪的旋轉(zhuǎn)，可在轉(zhuǎn)輪上同時(shí)完成氣體的脫附和轉(zhuǎn)輪的再生過程。進(jìn)入濃縮轉(zhuǎn)輪的有機(jī)廢氣在常溫下被轉(zhuǎn)輪吸附區(qū)吸附凈化后直接排放至大氣，接著因轉(zhuǎn)輪的轉(zhuǎn)動(dòng)而進(jìn)入脫附區(qū)，吸附了有機(jī)物質(zhì)的轉(zhuǎn)輪在此區(qū)內(nèi)脫附，吸附在轉(zhuǎn)輪上的有機(jī)物被分離、脫附、進(jìn)入后續(xù)燃燒系統(tǒng)，最終被氧化分解成二氧化碳和水，如此循環(huán)工作。        

燃燒室中的蓄熱式陶瓷填充床可使熱能得到最大限度的回收利用（熱回收率大于95%），處理有機(jī)氣體時(shí)不用或使用很少的燃料，節(jié)能效果好，運(yùn)行費(fèi)用低，不產(chǎn)生二次污染，但整體設(shè)備的造價(jià)很高，適用于有機(jī)廢氣量大項(xiàng)目。

三、氮氧化物廢氣處理系統(tǒng)

設(shè)計(jì)功能

有效去除廢氣中氮氧化物及其引起的黃煙問題。

工藝原理

添加化學(xué)藥劑進(jìn)行氧化與還原反應(yīng)，根據(jù)廢氣成分、濃度組合設(shè)計(jì)1-3級洗滌塔：

第1級，氧化塔，添加H2SO4，NaClO2等氧化NO；

第2級，還原塔，添加NaOH,NaHS等還原NO2；

第3級，吸收塔，吸收H2S。

系統(tǒng)優(yōu)勢

可有效解決氮氧化物引起的黃煙問題；可選雙 PH和ORP計(jì)設(shè)計(jì)，確保系統(tǒng)穩(wěn)定可靠。整體氮氧化物去除率超過95%。

三、 硅烷廢氣處理系統(tǒng)

硅烷廢氣產(chǎn)生于AMOLED陣列工藝階段。 

硅烷即硅與氫的化合物，是一系列化合物的總稱，包括甲硅烷、乙硅烷和一些硅氫化合物，硅烷廢氣處理采用燃燒+洗滌法凈化硅烷氣體，系統(tǒng)內(nèi)包含：硅烷廢氣燃燒設(shè)備+濾筒除塵器+噴淋塔。

工作原理：工作原理是硅烷與輸入的壓縮空氣或新風(fēng)補(bǔ)氣口補(bǔ)入的空氣接觸而自燃或發(fā)生氧化反應(yīng)，反應(yīng)后生成大量的二氧化硅粉塵；氨氣采用洗滌塔噴淋吸收形成氨水。內(nèi)部燃燒室采用特殊的泄壓裝置，即使在內(nèi)部壓力突然增大的情況下仍能正常工作，同時(shí)配備了氮?dú)馊肟?，更加大了設(shè)備的安全性。

在粉塵收集方面采用靜壓沉積的方法，沉積下來的粉塵通過排渣口排出，這使粉塵收集處理變得更容易、更有效，后續(xù)工藝還配套了濾筒除塵技術(shù)，進(jìn)一步去除氧化硅粉塵，提升粉塵的治理效率。

四、濕式靜電除塵系統(tǒng)

有效去除含塵腐蝕性廢氣中的酸霧和粉塵顆粒物。過濾后廢氣進(jìn)入后續(xù)處理工序。

適用廢氣

適用于氟化物（塵氟）、二氧化硅、塑膠粉塵、白煙等。

工藝原理

煙氣進(jìn)入濕式電除塵器，由于連續(xù)的噴霧系統(tǒng)和電暈極放電形成的高壓靜電場，使得煙氣中的粉塵團(tuán)聚凝并、增濕，粉塵在電場中荷電后一起向收塵極極板運(yùn)動(dòng)，噴霧系統(tǒng)在收塵極極板上形成完整的水膜，水膜使極板保持潔凈。在重力的作用下，收集的粉塵隨著水膜流下，污水最后經(jīng)過排污口排出。

性能特點(diǎn)：

▲1、粉塵控制——煙塵排放濃度可控制在10mg/m3 以下，相當(dāng)于零排放。

▲2、PM2.5超細(xì)粉塵控制——具備PM2.5微塵凝結(jié)長大所需要的過飽和水汽環(huán)境，通過蒸汽相變促進(jìn)實(shí)現(xiàn)PM2.5高效脫除，對PM2.5的去除效率高達(dá)99%以上。

▲3、效率高投資低，濕式電除塵器運(yùn)行在煙氣50℃左右，煙氣流速最高可達(dá)3m/s，設(shè)備大小相當(dāng)于干式電除塵器的1/4，占地面積小。

▲4、設(shè)備外圍采用碳鋼框架，與廢氣接觸的部位全部采用304不銹鋼封面，具有很好的抗腐蝕性，使用壽命長。

▲5、濕式電除塵器能夠適應(yīng)各種煙氣潔凈的要求，能夠有效去除亞微米的污染物粒子，不管這些微粒具有哪些物理和化學(xué)性質(zhì)，而其他的除塵設(shè)備，如噴淋塔，布袋除塵器，干式靜電除塵器等，對煙氣的成分和性質(zhì)變化很敏感。

▲6、自清洗能力能夠減少日常設(shè)備維護(hù)，同時(shí)形成的水膜能夠減少清洗極板的用水量，沖洗水可以循環(huán)利用。

▲7、 壓降小，不超過300Pa。